住友重機械工業株式会社は、真空ロボットを製造販売するパーシモン・テクノロジーズ社(米国マサチューセッツ州)の株式を取得し、子会社化すると発表した。
パーシモン社は、半導体および電子部品の製造装置メーカーを顧客とするベンチャー企業。主に半導体製造工程においてウエハーの搬送などに使用される真空ロボットの製造・販売を行っている。
住友重機械工業は、今回新たに真空ロボットを製品ラインアップに加えることにより、イオン注入装置、クライオポンプ、XY ステージなどの半導体関連事業の成長を図る。またパーシモン社が研究開発に取り組んでいるダイレクトドライブモーター技術を自社グループの製品開発に生かし、変減速機やプラスチック機械などの事業拡大を目指す。
取得価額は、約36億円。